产业孵化

INDUSTRY INCUBATION

微纳集成传感器

详细说明:

主要包括多参数集成传感器技术和微机械陀螺技术等。在汽车电子、通讯电子、国防研究等领域,解决小体积、低功耗、多参数的测量关键技术,对传感器的集成技术又迫切的需求。


性能:
           TPH                                                                  TPA

压力传感器灵敏度:1.574mV/kg/cm2              加速度线性度:小于2%FS

压力传感器精度:0.02%FS                             加速度灵敏度:小于5%FS

压力传感器量程:-0.1-0.25MPa                       压力部分线性度:0.4%FS

线性: 0.165%FS                                           压力灵敏度:0.0987Mv/kPa

迟滞: 0.186%FS                                           压力量程:0-200KPa

重复性: 0.196%FS                                        温度灵敏度:5.617×10-3KΩ/℃

温度传感器线性: 0.55%FS                              温度线性度:0.48%FS

温度传感器重复性: 0.64%FS

湿度传感器线性:5.3%FS

湿度传感器迟滞:10.2%FS